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真空鍍膜是真(zhēn)空應用領域的一個(gè)重要(yào)方麵,它是以(yǐ)真空技術為基(jī)礎,利(lì)用(yòng)物理或化(huà)學方法,並(bìng)吸收(shōu)電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一(yī)係(xì)列新技術,為科學研究和實際生產提供薄膜製備的一種新工藝。簡單地說,在真空(kōng)中把金屬、合金或(huò)化合物進行蒸(zhēng)發或濺射,使其在被塗覆的物體(稱基板、基片或基(jī)體)上凝固並(bìng)沉積的方法,稱為真空鍍膜。真空(kōng)鍍膜技術基(jī)本都是在處於真空(kōng)的環境下進(jìn)行的,因(yīn)此人們稱它們為真空鍍膜技術。產品鍍膜的過程是真空環境(jìng),真空度高。鍍膜機內部氣壓極低,產品中的添加劑、油脂、水分均會溢出。
真空鍍膜的方法很多,其(qí)中有以下三點:(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗後放到鍍膜室,抽空後將膜料加熱到高溫,使(shǐ)蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表麵,凝結(jié)而成薄膜。(2)陰極濺射鍍:將需(xū)鍍膜的(de)基體放(fàng)在陰極對麵,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的(de)室內,保持壓強約1.33~13.3Pa,然後將陰極接上2000V的直(zhí)流電源,便激發輝(huī)光(guāng)放電,帶正(zhèng)電的氬離子撞(zhuàng)擊陰極,使其射出原子,濺射出的原(yuán)子通過惰性氣(qì)氛沉積到基體上形成膜。(3)化學氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物(wù),獲得沉積薄膜的過程。
在真(zhēn)空條件下(xià)成膜(mó)有很(hěn)多優點:可減少蒸發材(cái)料的原子、分(fèn)子在飛向基板過程(chéng)中於分子的碰撞,減少氣體(tǐ)中的活性分子和蒸發源材料間的化學反應(如氧化等),以及減少成膜(mó)過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純(chún)度(dù)、沉積速率和(hé)與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內壓(yā)力等(děng)於或低於10-2Pa,對於蒸發源與基板距(jù)離較遠和薄膜質量要求很高的場合,則要求壓力(lì)更(gèng)低。
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